Förderpreis 2014

Preisträger: Dr. Jörg Bräuer
Titel der Dissertation: Anwendung eines Raumtemperatur-Bondverfahrens basierend auf integrierten und reaktiven nanoskaligen Multilagensystemen
Forschungseinrichtung: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS

Inhalt: Dr. Bräuer entwickelte im Rahmen seiner Dissertation das reaktive Bonden. Es handelt sich dabei um einen Fügeprozess, der bei niedrigen Prozesstemperaturen zuverlässig arbeitet. Der Prozess selbst ist sowohl zum Fügen auf Waverebene als auch auf Chipebene einsetzbar. Gemeinsam mit sächsischen Partnern, namentlich der MPD Microelectronic Packaging GmbH Dresden, der InfraTec GmbH Dresden und der 12S in Dresden, wurde der Nachweis der Einsetzbarkeit für verschiedene Mikrosystem- und Mikorelektronikkomponenten bereits erbracht.